祖師塔位於五台縣佛光寺大殿南面略偏東處，建造年代無考，但根據其形制和藝術風格分析此塔應建于北齊。
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塔平面為等邊六邊形，全部用磚砌。外觀為兩層，但只有下層設一六角形塔室，上層則是裝飾性的實心體。下層正門在西面，內原供有二祖師像，塔室頂部用疊澀法砌成六角形覆鬥狀。

塔正門是一個略呈扁平狀的拱券門，券面用蓮瓣形的火焰作裝飾。塔身其他五面都是平素的，沒有任何裝飾。第一層塔身自腳至頂有明顯的收分，塔簷挑出很多，其做法是先出疊澀一層，在疊澀層上有上大下小的單鬥一層，每面九枚；其上又出疊澀一層，疊澀層上排列著蓮瓣三層，再上再出疊澀六層。第一層簷的背上，用反疊澀的做法向內收進成屋頂。

塔上層是一六邊形的小閣，小閣下為須彌座式的平座。須彌座的結構是：下部是疊澀四層，上做覆蓮瓣一層，每面為九瓣，其上束腰是仿木制胡床的形式，轉角立寶瓶形的主角柱，每面做壺門四間，因壺門與內部塔體脫開，所以顯得輕巧別致，束腰上小下大收分明顯，束腰上又出三層仰蓮瓣，以承托六邊形的小閣。

小閣的六角都立有角柱，柱頭、柱腳和柱中部都用俯蓮花捆束著，富有印度束蓮柱的風格。閣的西門砌出假券門，並用火焰形做券面裝飾，券腳下做成相錯的兩扇門，仿佛是一條門縫。閣的西南、西北兩面各做直欞小窗一個，其餘三面則是平素的。

小閣的表面上還畫出一些木結構的裝飾；券內門上則有繪出門額的痕跡；西北面的直欞窗以上畫出額枋兩層，兩層枋之間立五個短柱，額枋以上畫出人字形補間鋪作，這種人字形補間鋪作是南北朝時代建築的顯著特徵之一，到唐代以後這種做法幾乎絕跡了。

上層塔身六個角柱的柱頭上，做出角梁頭的形狀，梁頭之間砌出疊澀一層，疊澀上再挑出蓮瓣三層，構成上層塔簷。

塔頂的刹也是磚砌，形式特殊，用仰蓮、覆蓮組成刹座，其上以仰蓮一層承托六瓣形寶瓶(覆缽)，寶瓶上又出蓮瓣兩層，以承托頂上的寶珠。

塔外觀別致，下面像是一個六邊形亭子，上面是一個六邊形的小閣，故有人稱這類塔為亭閣式塔。

該塔的造型與藝術風格為我國古塔中所罕見，它彌補了南北朝中期實物的空白，是我國唐代以前罕存古塔實例，極為珍貴。